OVERVIEW
产品简介
BC⼤光斑激光开膜设备
采用j9九游会自研光源激光技术作为底层架构,利用通过激光在电池表面对掩膜进行刻蚀,利用该技术实现高效背接触电池(XBC)的图形化生产,实现替代传统光刻技术,快速、低损、高效去膜。
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ADVANTAGE
产品优势


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基本信息
- 运行模式:离线
- 设备尺寸(长×宽×高mm):5500*3000*2550(不包含三色灯,除尘机,冷水机)
- 适用硅片尺寸(mm):182*182-230*230
- 适用硅片厚度(um):≥110um
- 上下料方式:手动上下料/AGV上下料
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产品性能
- 图形精度:±15um
- 对准精度:≤±15um@182@mark点;≤±25um@182@轮廓
- 设备产能:>4000pcs/h
- 碎片率:≤0.03%
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